Mikrorezisztens technológia a pontos mérésekét réz felületeken. A Hitachi CMI563 fejlett technológiát kínál a réz bevonatok pontos méréséhez, illetve garantálja, hogy a NYÁK ellentétes oldala nem szól bele a mérési eredményekbe. A készülék ideális elektronikai gyártók számára akik nyomtatott huzalozású lemezek (NYÁK/PCB) és áramkörök gyártásával foglalkoznak. A CMI563 segítségével mérhetünk rugalmas és merev, egy- vagy többoldalú vagy akár többrétegű mintákon is. A cserélhető végű SRP-4 szonda a Hitachi saját szabadalma, melynek köszönhetően a mérések egyszerűek és pontosak lesznek.